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日置HIOKI在半导体器件测试中的应用

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发表时间:2021-02-18 14:42作者:陳




       

        半导体指常温下导电性能介于导体和绝缘体质检的材料,目前,常用的半导体材料包括三种:硅、锗、砷化镓。

        平时说的半导体,其实是指半导体元器件(或集成电路),也就是由半导体材料制造的电子元器件(或集成电路)。


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        半导体在我们熟悉的集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、汽车电子、大功率电源转换等领域都有应用,而日置HIOKI的测试仪器如功率分析仪、记录仪、数采、电池测试仪、LCR、阻抗测试仪等也在这些领域担任着重要的测试任务。


        那么日置产品在半导体元器件(或集成电路)测试中的应用有哪些呢?以晶圆级MOSFET为例,晶圆电容-电压(C-V)特性曲线测试是半导体参数测试中的比较关注的一部分,CV频率范围根据不同的器件有1Hz-100Hz、10Hz-10KHz、10KHz-1MHz或者更高频段,通过上位机软件在固定频段下以0.1V或者0.5V的步进扫描电压测试C值,电压范围有-5V~+5V、-10V~+10V、-20V~+20V、-30V~+30V、-40V~+40V或者更高。(支持第三方软件控制)


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        通过C-V测量还可以对其他类型半导体器件和工艺进行特征分析,如:BJT晶体管,二极管与PN结,III-V族化合物,二维材料,金属材料,光子检测器件,钙钛矿与太阳能电池,LED与薄膜晶体管,非易失性存储器与材料,MEMS与传感器,分子与纳米器件,半导体器件特性分析与建模,器件噪声特性分析以及检测工艺参数和失效分析机制等。


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        半导参数测试中除了CV电容电压特性曲线测试,还有IV电流电压特性曲线测试,可以将LCR测试仪IM3536搭配皮安表SM7110以及其他测试仪器进行系统集成。


 
 
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